IC装备是《国家中长期科技发展规划纲要(2006—2020年)》确定的16个国家重大科技专项之一。实施国家重大专项，是将沈阳市IC装备产业纳入国家战略，在更高层面上参与国内外竞争，抢占技术、产业发展制高点的战略需要。自IC国家科技重大专项设立以来，经沈阳市组织推动，共有6家企业承担了14项02科技重大专项课题，累计获得国家资金支持6.95亿元。其中，8项到期课题全部顺利完成专项办组织的验收。

拓荆公司申报的2016年项目“1x nm 3D NAND PECVD研发与产业化”即将获得立项。重大专项的顺利实施，提升了沈阳市IC装备产业在国家战略版图中的地位。国家集成电路产业投资基金完成对拓荆科技的增资扩股，2.7亿元投资全部到位。

市科技局相关负责人介绍，沈阳市以重大专项实施为引领，充分发挥IC产业联盟的行业纽带作用，实现了关键技术突破和重点产品产业化。截至目前，沈阳市IC装备产业形成了“一项控制系统技术(集成电路生产线智能调度与质量优化控制技术)、四类重要整机装备(PECVD薄膜设备、匀胶显影设备、划片机、刻蚀机)、一批关键单元部件(洁净机械手、罗茨干泵、真空气动闸板阀、SMIF系统及晶片传输设备等21种单元部件和子系统)和一个精密零部件支撑平台(IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台)”的配套体系和批量生产能力。在关键整机方面，拥有完全自主知识产权的首台国产12英寸PECVD设备完成了在中芯国际的在线测试，各项指标达到相关要求，实现了我国在IC装备国产化方面的重大突破;自主研发、填补国内空白的12英寸TRACK在国内著名芯片封装企业——江阴长电正式投入使用;自主研发的IC装备控制系统开发平台已在国产PECVD、TRACK整机装备上得到验证;在关键零部件方面，“干泵与系列真空阀门产品开发与产业化”项目完成了全部8种产品的生产，110台套得以应用，申请专利58项，授权33项，颁布实施行业标准1项;12寸凸点封装涂胶、喷胶、显影设备成为江阴长电生产线上的主力机台;完成洁净、真空和光刻机传输机械手样机研制工作，销售产品65台(套);“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”通过了全球最大的集成电路设备商美国应用材料公司的评审，成为正式供应商。