中科九微“MTP系列磁悬浮复合分子泵”入选北京市2024年重大技术装备目录

2025-01-16 19:25:24 sunmedia 512


近日,中科九微研发的“MTP系列磁悬浮复合分子泵”成功入选北京市2024年首台(套)重大技术装备目录(半导体领域)。这一突破不仅标志着中科九微在半导体真空技术领域的创新进展,也彰显了公司在自主研发和技术创新方面的强大实力。

“MTP系列磁悬浮复合分子泵”是中科九微在承担国家重大攻关项目过程中,凭借自主技术研发成果取得的重要设备之一。这款设备在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色,其成功研发和广泛应用,将大大增强我国半导体产业的自主可控能力,为半导体产业向更高端、智能、绿色的方向发展提供有力支持。

该系列泵的设计特点包括一体化结构、任意角度安装、低噪音、洁净无油、免维护等优点。它还配备了可调转速、集成智能管理系统、断电自动保护、冲击预警、故障诊断、温度管理等多种先进功能,且支持多种通讯方式,为半导体行业的生产工艺提供了更高的效率和更安全的保障。

通过这项技术的推广应用,MTP系列磁悬浮复合分子泵不仅填补了国内在该领域的技术空白,还进一步推动了我国半导体产业向技术自主和智能化升级的目标迈进,为中国半导体行业在全球竞争中占据更有利的地位提供了强有力的技术支持。

关键词:中科九微,MTP系列磁悬浮复合分子泵,

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